VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Boron: B(1s), BE Cu(2p3) = 932.67 eV
1
0.10 eV/step, 90 deg TOA, sum of 15 etch/scans
NORM
REGULAR
1
0
0
0
0
0
1
0.10 eV/step, 90 deg TOA, sum of 15 etch/scans
Boron: B(1s), BE Cu(2p3) = 932.67 eV
2003
4
25
22
16
11
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
60
4.00E-06
0
0
0
0
1002
8
1451
0.0988127
0.10275
407
0.10275
406
0.102742
369
0.102734
424
0.102726
417
0.102718
421
0.10271
438
0.102701
447
0.102693
412
0.102685
416
0.102677
403
0.102669
423
0.102661
404
0.102653
410
0.102644
415
0.102636
441
0.102628
384
0.10262
447
0.102612
432
0.102604
430
0.102595
463
0.102587
445
0.102579
460
0.102571
433
0.102563
456
0.102555
454
0.102547
470
0.102538
442
0.10253
456
0.102522
472
0.102514
458
0.102506
435
0.102498
427
0.10249
452
0.102482
461
0.102473
428
0.102465
425
0.102457
492
0.102449
458
0.102441
446
0.102433
474
0.102425
461
0.102417
481
0.102408
481
0.1024
493
0.102392
502
0.102384
520
0.102376
465
0.102368
511
0.10236
484
0.102352
472
0.102344
457
0.102335
455
0.102327
463
0.102319
477
0.102311
515
0.102303
486
0.102295
520
0.102287
441
0.102279
491
0.102271
539
0.102263
476
0.102254
481
0.102246
507
0.102238
468
0.10223
437
0.102222
493
0.102214
506
0.102206
492
0.102198
482
0.10219
477
0.102182
526
0.102174
475
0.102165
497
0.102157
473
0.102149
551
0.102141
560
0.102133
566
0.102125
567
0.102117
575
0.102109
549
0.102101
604
0.102093
561
0.102085
552
0.102077
540
0.102069
555
0.102061
502
0.102052
526
0.102044
509
0.102036
464
0.102028
512
0.10202
465
0.102012
460
0.102004
459
0.101996
477
0.101988
440
0.10198
428
0.101972
455
0.101964
471
0.101956
424
0.101948
442
0.10194
427
0.101932
430
0.101924
381
0.101916
437
0.101907
348
0.101899
417
0.101891
441
0.101883
423
0.101875
391
0.101867
380
0.101859
407
0.101851
399
0.101843
363
0.101835
380
0.101827
427
0.101819
436
0.101811
357
0.101803
384
0.101795
394
0.101787
399
0.101779
373
0.101771
388
0.101763
389
0.101755
355
0.101747
362
0.101739
367
0.101731
418
0.101723
338
0.101715
368
0.101707
370
0.101699
356
0.101691
337
0.101683
328
0.101675
382
0.101667
375
0.101659
370
0.101651
349
0.101643
371
0.101635
391
0.101627
371
0.101619
381
0.101611
368
0.101603
334
0.101595
382
0.101587
371
0.101579
346
0.101571
356
0.101563
377
0.101555
372
0.101547
389
0.101539
395
0.101531
350
0.101523
362
0.101515
334
0.101507
355
0.101499
362
0.101491
342
0.101483
387
0.101475
334
0.101467
374
0.101459
382
0.101451
398
0.101443
374
0.101435
391
0.101427
417
0.101419
447
0.101411
493
0.101403
545
0.101395
680
0.101387
761
0.101379
839
0.101371
1009
0.101363
1099
0.101355
1206
0.101347
1306
0.101339
1260
0.101331
1272
0.101323
1212
0.101315
1190
0.101308
1013
0.1013
933
0.101292
804
0.101284
686
0.101276
646
0.101268
500
0.10126
421
0.101252
423
0.101244
372
0.101236
314
0.101228
285
0.10122
268
0.101212
287
0.101204
246
0.101196
227
0.101188
206
0.10118
194
0.101172
234
0.101165
228
0.101157
225
0.101149
242
0.101141
227
0.101133
189
0.101125
192
0.101117
222
0.101109
213
0.101101
184
0.101093
236
0.101085
187
0.101077
228
0.101069
233
0.101061
182
0.101054
213
0.101046
200
0.101038
213
0.10103
215
0.101022
204
0.101014
217
0.101006
213
0.100998
204
0.10099
227
0.100982
205
0.100974
226
0.100967
232
0.100959
203
0.100951
227
0.100943
223
0.100935
213
0.100927
250
0.100919
240
0.100911
229
0.100903
217
0.100895
263
0.100888
282
0.10088
236
0.100872
265
0.100864
239
0.100856
266
0.100848
268
0.10084
241
0.100832
282
0.100824
278
0.100817
294
0.100809
243
0.100801
290
0.100793
271
0.100785
262
0.100777
303
0.100769
230
0.100761
274
0.100754
258
0.100746
275
0.100738
290
0.10073
304
0.100722
300
0.100714
276
0.100706
309
0.100698
297
0.100691
296
0.100683
308
0.100675
326
0.100667
321
0.100659
334
0.100651
314
0.100643
320
0.100636
287
0.100628
347
0.10062
359
0.100612
373
0.100604
358
0.100596
384
0.100588
360
0.100581
346
0.100573
366
0.100565
398
0.100557
353
0.100549
383
0.100541
368
0.100533
404
0.100526
361
0.100518
372
0.10051
355
0.100502
386
0.100494
429
0.100486
378
0.100479
365
0.100471
388
0.100463
386
0.100455
394
0.100447
385
0.100439
428
0.100432
439
0.100424
420
0.100416
504
0.100408
549
0.1004
596
0.100393
703
0.100385
813
0.100377
827
0.100369
852
0.100361
965
0.100353
949
0.100346
1002
0.100338
1018
0.10033
1140
0.100322
1166
0.100314
1165
0.100307
1224
0.100299
1288
0.100291
1326
0.100283
1281
0.100275
1451
0.100268
1404
0.10026
1349
0.100252
1409
0.100244
1400
0.100236
1343
0.100229
1236
0.100221
1126
0.100213
1044
0.100205
986
0.100197
840
0.10019
755
0.100182
684
0.100174
619
0.100166
563
0.100158
480
0.100151
475
0.100143
427
0.100135
399
0.100127
370
0.100119
359
0.100112
341
0.100104
298
0.100096
323
0.100088
300
0.100081
292
0.100073
283
0.100065
285
0.100057
316
0.100049
271
0.100042
268
0.100034
280
0.100026
275
0.100018
269
0.100011
270
0.100003
255
0.0999951
247
0.0999873
228
0.0999796
267
0.0999718
250
0.0999641
287
0.0999563
259
0.0999485
237
0.0999408
223
0.099933
267
0.0999253
261
0.0999175
223
0.0999098
241
0.099902
232
0.0998943
227
0.0998865
221
0.0998788
246
0.099871
230
0.0998633
228
0.0998555
235
0.0998478
208
0.0998401
195
0.0998323
219
0.0998246
182
0.0998168
191
0.0998091
178
0.0998014
176
0.0997936
194
0.0997859
189
0.0997782
159
0.0997704
177
0.0997627
157
0.099755
137
0.0997472
143
0.0997395
133
0.0997318
154
0.0997241
147
0.0997163
146
0.0997086
110
0.0997009
118
0.0996932
119
0.0996855
106
0.0996777
111
0.09967
106
0.0996623
88
0.0996546
70
0.0996469
73
0.0996392
49
0.0996315
43
0.0996237
38
0.099616
39
0.0996083
40
0.0996006
43
0.0995929
23
0.0995852
20
0.0995775
24
0.0995698
25
0.0995621
20
0.0995544
25
0.0995467
15
0.099539
18
0.0995313
19
0.0995236
12
0.0995159
11
0.0995082
15
0.0995005
11
0.0994928
19
0.0994851
17
0.0994775
13
0.0994698
19
0.0994621
23
0.0994544
22
0.0994467
20
0.099439
15
0.0994313
20
0.0994237
8
0.099416
12
0.0994083
20
0.0994006
26
0.099393
25
0.0993853
20
0.0993776
16
0.0993699
21
0.0993623
17
0.0993546
25
0.0993469
22
0.0993392
24
0.0993316
18
0.0993239
16
0.0993162
16
0.0993086
20
0.0993009
15
0.0992933
22
0.0992856
27
0.0992779
19
0.0992703
20
0.0992626
16
0.099255
16
0.0992473
9
0.0992396
23
0.099232
20
0.0992243
23
0.0992167
13
0.099209
12
0.0992014
17
0.0991937
17
0.0991861
17
0.0991784
14
0.0991708
18
0.0991632
9
0.0991555
21
0.0991479
14
0.0991402
25
0.0991326
19
0.099125
19
0.0991173
19
0.0991097
17
0.099102
9
0.0990944
19
0.0990868
15
0.0990791
17
0.0990715
16
0.0990639
16
0.0990563
12
0.0990486
11
0.099041
20
0.0990334
22
0.0990258
14
0.0990181
19
0.0990105
21
0.0990029
16
0.0989953
22
0.0989877
14
0.09898
25
0.0989724
20
0.0989648
15
0.0989572
15
0.0989496
15
0.098942
13
0.0989344
26
0.0989267
16
0.0989191
14
0.0989115
12
0.0989039
26
0.0988963
12
0.0988887
12
0.0988811
21
0.0988735
16
0.0988659
22
0.0988583
24
0.0988507
15
0.0988431
28
0.0988355
23
0.0988279
25
0.0988203
22
0.0988127
end of experiment
